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閉循環(huán)低溫探針臺(tái)芯片測試支持定制

簡要描述:

閉循環(huán)低溫探針臺(tái)芯片測試支持定制LH-CRPS-10K是一種低成本無需消耗制冷劑,依靠制冷機(jī)提供冷源的閉循環(huán)低溫探針臺(tái)。此款低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)的初衷就是操作便利性和可靠的專業(yè)測量能力,為制冷劑獲得比較困難的客戶提供了一個(gè)可行的解決方案。通過閉循環(huán)制冷機(jī)降溫,降溫過程中不需要其它輔助設(shè)備,只需要很少的電能即可,也不需要科研人員值守操作。

型號(hào):LH-CRPS-10K

瀏覽量:118

更新時(shí)間:2024-12-31

價(jià)格:30000

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閉循環(huán)低溫探針臺(tái)芯片測試支持定制
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閉循環(huán)低溫探針臺(tái)芯片測試支持定制LH-CRPS-10K是一種低成本無需消耗制冷劑,依靠制冷機(jī)提供冷源的閉循環(huán)低溫探針臺(tái)。此款低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)的初衷就是操作便利性和可靠的專業(yè)測量能力,為制冷劑獲得比較困難的客戶提供了一個(gè)可行的解決方案。通過閉循環(huán)制冷機(jī)降溫,降溫過程中不需要其它輔助設(shè)備,只需要很少的電能即可,也不需要科研人員值守操作。

豐富的選件和配置確保科研人員能夠?qū)嵤﹪?yán)苛的、富有挑戰(zhàn)的測試測量。LH-CRPS-10K是德世閉循環(huán)探針臺(tái)家族中價(jià)格蕞低的一款探針臺(tái),蕞低溫度低于10K,它的多功能性和可靠低溫性能,成為了世界各地科研工作者的首先。多個(gè)溫度傳感器分布于探針臺(tái)各個(gè)位置,確保溫度監(jiān)視和測量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。由于是二級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)提供冷源,這樣能保證樣品溫度維持在相對(duì)較高的溫度,同時(shí)樣品處于真空環(huán)境中,減少了凝結(jié)的可能性,在一些有機(jī)材料的嚴(yán)格測試要求中這一點(diǎn)比較重要。

LH-CRPS-10K可以實(shí)現(xiàn)I-V、C-V等測試,最大可安裝樣品臺(tái)直徑51mm(2in),出廠時(shí)標(biāo)準(zhǔn)配置三同軸樣品臺(tái),標(biāo)準(zhǔn)溫度范圍10K-350K,選件可實(shí)現(xiàn)溫度范圍20K-675K。

閉循環(huán)低溫探針臺(tái)芯片測試支持定制


閉循環(huán)低溫探針臺(tái)芯片測試支持定制

特點(diǎn):

無需消耗制冷劑

全程無值守降溫

豐富的選件和配件

遠(yuǎn)程軟件控溫

德世蕞低成本的閉循環(huán)制冷機(jī)探針臺(tái)

  閉循環(huán)低溫探針臺(tái)芯片測試支持定制


 

1.兩級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)提供冷源,一級(jí)制冷平臺(tái)冷卻輻射屏,二級(jí)制冷平臺(tái)冷卻樣品臺(tái)

2.防輻射屏包圍著樣品臺(tái),頂端帶有可視窗口,安裝紅外吸收石英窗片

3.兩級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī),在10K時(shí)有3.5w的制冷量

 

溫度屬性

蕞低溫度

控溫范圍

配置

8K

8.5K-350K

2個(gè)探針臂

9K

9.5K-350K

4個(gè)探針臂

10K

10.5K-350K

6個(gè)探針臂

20K

20K-675K

高溫樣品臺(tái)

 

控溫穩(wěn)定性

溫度范圍

穩(wěn)定性

蕞低溫不控溫


<10K

±50mK

11K-100K

±10mK

101K-250K

±10mK

351K-675K

±50mK

 

真空性能

室溫

<5X10-3Pa

蕞低溫

<5X10-4Pa

最高溫

<5X10-3Pa

注:以上數(shù)據(jù)使用600L渦輪分子泵組得到

 

樣品振動(dòng)

X方向

<5μm

Y方向

<5μm

Z方向

<1μm

注:可選低振動(dòng)配置,各方向振動(dòng)<1μm

 

時(shí)間參數(shù):

◆抽空時(shí)間:0.5h(與泵組相關(guān))

◆降溫時(shí)間:從室溫到蕞低溫2.5h

◆升溫時(shí)間:從蕞低溫到室溫2h

 

樣品臺(tái):

◆標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái):51mm(2in)

◆樣品臺(tái)背光:無

◆樣品臺(tái)類型:三同軸樣品臺(tái)(標(biāo)配)、接地樣品臺(tái)(選配)、0.15T垂直磁場樣品臺(tái)(選配)

◆樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn):無

探針:

◆探針數(shù)量:最多6個(gè)

◆探針傳感器:硅二極管,監(jiān)視探針溫度

◆探針托溫度:<20K樣品臺(tái)處于蕞低溫度

◆探針熱沉:熱沉到樣品臺(tái)或者相同溫度的防輻射屏

◆探針臂:熱沉到防輻射屏

◆DC/RF探針:絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100fA

◆微波探針:DC到67GHz,用于微波測量

◆光纖探針:用于光電測量,可選FC/APC或者SMA905接口,波長可選

 

探針位移:

◆X方向行程:75mm,移動(dòng)分辨率3μm

◆Y方向行程:25mm,移動(dòng)分辨率5μm

◆Z方向行程:25mm,移動(dòng)分辨率5μm

顯微鏡配置

3400萬像素CCD相機(jī)

支持4K視頻錄制

4條水平線4條垂直線,帶測量軟件

標(biāo)準(zhǔn)HDMI接口

電子縮放1x-10x

景深同軸光鏡頭,帶LED同軸光源

光學(xué)倍數(shù)0.7-5X,連續(xù)變倍比7.1:1

電子倍數(shù)20-200x

成像距離140-180mm

景深高度:10mm

觀看面積1mm-18mm

制冷劑消耗:

◆室溫到低溫度:不需要

◆液氦消耗(5K):不需要

探針臺(tái)配置

 

溫度配置

樣品臺(tái)傳感器加熱器

硅二極管傳感器、100W加熱器

防輻射屏傳感器加熱器

硅二極管傳感器、100W加熱器

二級(jí)制冷平臺(tái)傳感器加熱器

硅二極管傳感器、100W加熱器

探針臂傳感器

硅二極管傳感器(安裝在其中一個(gè)針臂)

溫度控制

控溫儀型號(hào)

斯坦福CTC100四通道溫度控制器

低溫輸液管

不需要

低溫液體儲(chǔ)存罐

不需要

支架

支架尺寸

長寬高660X660X640mm(不含地腳)

地腳

4個(gè)橡膠減振地腳,承重500公斤

桌面

長寬厚710X710X20mm

真空腔體

材料

鋁本色氧化(可選不銹鋼電鍍鉻)

外部直徑高度

245X170mm

內(nèi)部直徑高度

215X165mm

可視窗凈尺寸

φ65毫米,紅外吸收石英窗口

真空抽口

KF16

真空閥門

KF16手動(dòng)擋板閥

放氣閥

手動(dòng)放氣閥

預(yù)留接口

預(yù)留通用安裝接口

探針引出口

六個(gè)真空三同軸接口(DC探針,選擇其它探針,接口不同)

防輻射屏

材料

銅鍍金

外徑

182mm

可視窗凈尺寸

45mm,配紅外吸收窗口

抽空泵組

分子泵組

可選(客戶可自備)

機(jī)械泵組

可選(客戶可自備)

抽空減振塊

抽空減振塊

KF25進(jìn)出氣口,重量20公斤

配電要求

單相電壓

220V/50Hz

單相功率

1KW

三相電壓

三相五線制,380V/50Hz

三相功率

6KW

水冷要求

制冷功率

5KW@25℃

水流量

7L-10L/min(28℃)

三相電壓

三相五線制,380V/50Hz

三相功率

3KW

 

樣品托

接地樣品托

直接安裝在樣品臺(tái),盡量減小對(duì)樣品的溫度梯度,與整個(gè)探針臺(tái)電器接通

 

注:可選圓形和方形,性能無差異


同軸樣品托

樣品托表面與探針臺(tái)整體電器絕緣,通過BNC接口穿過真空室

 

注:可選圓形和方形,性能無差異


三同軸樣品托

在同軸樣品托的基礎(chǔ)上增加GUARD層,層與層之間電器絕緣,提供保護(hù)電壓層,減小漏電流

注:可選圓形和方形,性能無差異

 

閉循環(huán)低溫探針臺(tái)芯片測試支持定制


磁場樣品托

磁場樣品托提供了一種低成本便捷的磁場測試環(huán)境,樣品托安裝在樣品臺(tái)上,和探針臺(tái)整體供地。磁場樣品托一套包括四種磁場產(chǎn)生環(huán)和一個(gè)安裝托。

根據(jù)不同的磁場需求,選擇使用不同的磁場產(chǎn)生環(huán)。四個(gè)磁場產(chǎn)生環(huán)分別能產(chǎn)生0.2T、0.18T、0.15T、0.1T磁場。

 

閉循環(huán)低溫探針臺(tái)芯片測試支持定制

 

 

樣品托配置

 


類型

接口

尺寸

設(shè)備包括

接地樣品托

 

φ51mm(2in)

 

 

選件

接地樣品托

φ51mm(2in)

同軸樣品托

BNC

φ51mm(2in)

三同軸樣品托

TRIAX

φ51mm(2in)

注:其它尺寸樣品托接受定制

 

 

閉循環(huán)低溫探針臺(tái)芯片測試支持定制

 

 

樣品托性能


電絕緣

溫差

溫度

接地樣品托

導(dǎo)通

0.1K-0.2K

400K

同軸樣品托

>100MΩ

≈1K

400K

三同軸樣品托

>100GΩ

≈1K-2K

400K

1.電絕緣測試是在10V電壓情況下,測量導(dǎo)電面之間的電阻

2.溫差是樣品托表面和樣品臺(tái)之間存在的溫差。樣品的熱接觸好壞以及樣品大小,都會(huì)對(duì)溫差產(chǎn)生影響,熱接觸不充分樣品負(fù)載大,會(huì)增加溫差。

 

接口

BNC

同軸樣品托-配2耳BNC真空接口以極低溫同軸線纜

TRIAX

三同軸樣品托-配3耳三同軸真空接口以及低溫同軸線

 

探針臂配置

德世標(biāo)準(zhǔn)的微操作針臂,能安裝各種類型的探針,滿足絕大部分科研需求,實(shí)現(xiàn)直流、射頻、微波以及光學(xué)測量。

u靈活容易擴(kuò)展的探針集合

u微操作針臂可以在全溫區(qū)、真空環(huán)境、磁場環(huán)境下使用

u可以配置在德世任意款探針臺(tái)上

u磁場探針臺(tái)中更換成無磁材料針臂

u針臂上安裝一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器,可以接受定制傳感器類型

 

閉循環(huán)低溫探針臺(tái)芯片測試支持定制 

 

探針配置及用途

通用DC

小信號(hào)低噪聲DC測量

高阻DC

高阻抗低漏電流測量

RF-1GHz

KHz和MHz級(jí)別的測量,測量帶寬高達(dá)1GHz??梢陨?jí)到RF/微波-40GHz測量,需要購買一個(gè)GSG探針

RF/微波-40GHz

可實(shí)現(xiàn)高達(dá)40GHz的測量,同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)兼容DC測量

RF/微波-67GHz

可實(shí)現(xiàn)高達(dá)67GHz的測量,同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)兼容DC測量

光纖探針

給樣品通光或者從樣品采集光,可選波長,可選FC/APC或者SMA905接口

 

探針硬件配置


接口

探針

內(nèi)部線

平角

定制

通用DC

3耳BNC

SMA低溫探針

微型低溫同軸線,屏蔽層接地

±5°

探針針尖和直徑

高阻DC

3耳triaxial

SMA低溫探針

微型低溫同軸線,屏蔽層接三同軸GUARD

±5°

探針針尖和直徑

RF-1GHz

2.92mm(K型連接器)

SMA低溫探針

2.92mm半剛性低溫同軸線,屏蔽層接地

±5°

探針針尖和直徑

RF/微波-40GHz

2.92mm(K型接器)

40G-GSG探針

2.92mm半剛性低溫同軸線,屏蔽層接地

±5°

GSG針尖距離

RF/微波-67GHz

1.85mm(Z型連接器)

67G-GSG探針

1.85mm半剛性低溫同軸線,屏蔽層接地

±5°

GSG針尖距離

光纖探針

FC/APC或SMA905

光纖

±5°

類型、波長、入射角

 

探針性能


使用頻率

絕緣電阻

電容

阻抗

反射

傳輸

通用DC

DC-50Hz

>100MΩ

<100pF

50Ω

高阻DC

DC-50Hz

>100GΩ

<100pF

RF-1GHz

DC-1GHz

>10MΩ

未測量

50Ω

<-20dB

<±1dB

RF/微波-40GHz

DC-40GHz

>1MΩ

未測量

50Ω

<-20dB

<±1dB

RF/微波-67GHz

DC-67GHz

>1MΩ

未測量

50Ω

<-20dB

<±1dB

光纖探針


注:絕緣電阻在100V電壓下測量得到

 

探針定位


X軸

Y周

Z軸

行程

75mm(2in)

25mm(1in)

25mm(1in)

精度

3μm

5μm

5μm

 

SMA低溫專用探針

德世為低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)專用探針,探針具有強(qiáng)大的通用性,能實(shí)現(xiàn)直流偏置、低/高頻測量、低噪聲屏蔽和低漏電流測量。SMA低溫探針主體由陶瓷或者FR4制作,低溫焊料焊接SMA接口,50歐姆阻抗傳輸線,可配置鎢、P7或者鈹銅探針,無氧銅熱沉帶,熱沉到樣品臺(tái)

 

閉循環(huán)低溫探針臺(tái)芯片測試支持定制

 

 

型號(hào)

材料

針尖直徑(µm)

SMA-05D-01-W

1

SMA-05D-05-W

5

SMA-05D-10-W

10

SMA-05D-20-W

20

SMA-05D-100-W

100

SMA-05D-01-BC

鈹銅

1

SMA-05D-05-BC

5

SMA-05D-10-BC

10

SMA-05D-20-BC

20

SMA-05D-100-BC

100

SMA-05D-01-P7

Paliney7合金

1

SMA-05D-05-P7

5

SMA-05D-10-P7

10

SMA-05D-20-P7

20

SMA-05D-100-P7

100

 

針尖材料

描述

應(yīng)用

導(dǎo)電性

接觸電阻

壽命

(W)

常用,耐用

適用各種樣品表面,能穿透氧化層

鈹銅(BC)

常用,接觸電阻小

沉金焊盤pad

優(yōu)

最小

paliney7合金(P7)

專用,接觸電阻小

精密的焊盤pad

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